平面環拋機能否加工厚度很薄的光學元件
作者:MARK    發布于:2020-05-17 12:39:25    文字:【】【】【
摘要:平面環拋機能否加工厚度很薄的光學元件

在回答這個問題前,有2個先決問題要明確,何為薄件?加工精度多少?這里先定義一下:通常意義上徑厚比20:1的的元件均已屬于光學薄件了?,F在的超薄元件的加工精度很多均約束在等厚的概念和波前透射,至于反射精度已較少被提及,但是恰恰薄件的反射面形是最難的。所以我們針對反射面形來回答文前的問題。

1、回答是肯定的,當然能做。

    但是,這里涉及到很多的工藝,日本人用環形控壓的方式來解決,中國人用光膠、點膠等老工藝來解決等等,這些都是依靠工藝最后利用環拋機成功解決了薄件的反射面形加工難題。

2、加工精度可以達到什么量級?

   曾經在一份日本文獻上看到,12英寸,3mm厚度的石英元件反射精度做到0.15波長(632.8),這已可以秒殺國內絕大多數光學加工廠了。

   最近一直在做薄件的加工試驗,有興趣的朋友可以多交流。

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